本發(fā)明屬于集成光學器件制備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種有機無機復(fù)合回音壁模式光學微腔激光器的制備方法。本發(fā)明包括采用溶膠-凝膠法分別配制折射率較低的和較高的有機無機復(fù)合材料溶液,然后分別用旋涂甩膜法制備襯底層和有源層,再用紫外光刻法將掩模板上的微腔圖形轉(zhuǎn)移到有源層上,刻蝕出微腔,最后制備覆蓋層。本發(fā)明適合用于制備多功能、高性能的集成光學傳感芯片。本方法工藝簡單,成本低,制備的有機無機復(fù)合回音壁模式光學微腔激光器達到有機類微腔的最好水平。