一種超細(xì)晶粒碳氮化鈦基金屬陶瓷的微波燒結(jié),它以300MHZ～8GHZ頻率微波介質(zhì)作熱源,使超細(xì)晶粒碳氮化鈦基金屬陶瓷坯料吸收微波能量而完成燒結(jié)過程,此燒結(jié)過程中按超細(xì)晶粒碳氮化鈦基金屬陶瓷坯料碳氮比的比值分別使用真空和氣氛保護(hù)兩種微波加熱燒結(jié)工藝。它采用300MHZ～8GHZ頻率微波加熱燒結(jié)不同碳氮比的碳氮化鈦基金屬陶瓷坯料,并針對(duì)不同碳氮比的碳氮化鈦基金屬陶瓷坯料分別使用真空微波燒結(jié)和氣氛保護(hù)微波燒結(jié)的技術(shù)方案,克服了使用傳統(tǒng)真空或氣氛保護(hù)燒結(jié)工藝,存在加熱效率低,燒結(jié)時(shí)間長,能耗大,環(huán)境污染嚴(yán)重,晶粒粗大等缺陷。它可廣泛應(yīng)用于其它具有較強(qiáng)微波吸收能力的陶瓷、陶瓷基復(fù)合材料及金屬間化合物材料的燒結(jié)。