本發(fā)明公開了一種包括過濾器裝置(149)的光刻設(shè)備(1)。過濾器裝置(149)具有連接至保持器(201)的多個翼片(200),所述保持器能夠圍繞旋轉(zhuǎn)軸線(RA)旋轉(zhuǎn)。所述翼片(200)被布置基本上平行于所述旋轉(zhuǎn)軸線(RA)。所述翼片(200)包括從由碳-碳復合物(C-C復合物)和碳-碳化硅復合物(C-SiC復合物)構(gòu)成的組中選出的單向碳纖維復合材料。在操作期間,過濾器裝置(149)旋轉(zhuǎn)且過濾出來自輻射源(SO),例如Sn等離子體源的碎片?？梢蕴峁┻@樣的過濾器裝置(149)本身。