本發(fā)明公開了鋁材表面的類金剛石覆膜改性方 法及其裝置。裝置包括絕緣體反應(yīng)室，反應(yīng)室與化學氣相沉積 的供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)相連通，在反應(yīng)室內(nèi)有陶瓷圍成的封閉 室和兩塊上下平行的電極，其中上電極位于封閉室中，其下表 面緊貼封閉室的底板面，與等離子體激發(fā)脈沖電源相連，下電 極接地并固定在封閉室外的加熱器上，供氣管的噴嘴位于兩平 行電極間。采用該裝置以 C2H6、H2、Ar組成的混合氣體 為反應(yīng)源氣體，在鋁材表面涂覆類金剛石(DLC)薄膜。本發(fā)明 工藝簡單、成本低，實現(xiàn)了在鋁材表面涂覆類金剛石薄膜，大 大提高了Al/DLC復(fù)合材料的表面硬度、耐腐蝕性和電絕緣性 等綜合性能。且成膜速度快，膜厚可達4－6μm而不脫落，結(jié) 合牢固。