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二氧化氮氣體傳感器及其制備和測試方法

934   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 17:09:22
本發(fā)明提供一種二氧化氮氣體傳感器及其制備和測試方法,傳感器結(jié)構(gòu)為有機薄膜場效應(yīng)晶體管,包括柵電極、襯底、氧化柵層、源電極和漏電極、有源層,有源層為ZnO納米棒和P3HT聚合物復(fù)合形成的復(fù)合材料薄膜;制備方法步驟為:①采用低溫水熱法制備ZnO納米棒;②采用噴涂成膜的方法將P3HT-ZnO復(fù)合材料沉積在源電極漏電極,其中ZnO納米棒與P3HT聚合物接觸,形成異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu);該傳感器有效地提高了OTFT器件的遷移率和氣體傳感器對待測氣體的響應(yīng),成膜工藝簡單,生產(chǎn)成本低,利于FET器件的電學(xué)性能提高,通過形成的異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)對待測氣體分子吸附在異質(zhì)結(jié)界面處會對界面處的勢壘產(chǎn)生變化來有效地提高氣體傳感器的響應(yīng)。
聲明:
“二氧化氮氣體傳感器及其制備和測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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