一種功能梯度結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動(dòng)器件及其制備方法,屬于懸臂梁結(jié)構(gòu)壓電驅(qū)動(dòng)器技術(shù)領(lǐng)域。采用粉末燒結(jié)方法將鋯鈦酸鉛壓電陶瓷和金屬AG進(jìn)行復(fù)合,通過(guò)逐層改變AG含量形成AG成分梯度變化的壓電陶瓷
復(fù)合材料,在復(fù)合材料的上下表面涂覆銀電極并切割成型,制備得到PZT/AG功能梯度結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動(dòng)器。壓電陶瓷復(fù)合材料的燒結(jié)溫度為900-1200℃,AG含量最高為15VOL%。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于,AG作為第二相加入PZT一方面調(diào)控壓電復(fù)合材料的壓電性能并沿驅(qū)動(dòng)器厚度方向形成梯度變化,使得各復(fù)合層協(xié)調(diào)變形;另一方面由于金屬第二相的彌散強(qiáng)化和阻裂增韌作用,大幅提高了懸臂梁結(jié)構(gòu)壓電驅(qū)動(dòng)器的可靠性和服役壽命。
聲明:
“功能梯度結(jié)構(gòu)的壓電驅(qū)動(dòng)器件及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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