一種在熱力學(xué)太陽能裝置中使用的真空型接收管的光譜選擇性吸收涂料薄膜，在中溫（高至400℃）和高溫（高至550℃）下工作，涂料中的光學(xué)吸收層是多層WyN-AlNx或MoyN-AlNx型金屬陶瓷材料，材料用反應(yīng)共濺射技術(shù)從Al靶和W靶或Mo靶上制備，制備過程在過渡方案、PEM（等離子發(fā)射監(jiān)控系統(tǒng)）或CVM（陰極電壓監(jiān)控）只監(jiān)控Al靶下實施，在Al靶附近充入足夠量的N2以獲得高透明度和高生長速度的亞化學(xué)計量級陶瓷AlN，在W或Mo靶附近充入足夠量的N2以獲得唯一的、在高溫非常穩(wěn)定的W2N或Mo2N相，以使金屬陶瓷材料盡可能地接近分子式W2N-AlNx或Mo2-AlNx（x在0.90和1.00之間，優(yōu)選0.95），因此，金屬陶瓷材料可以用于至少550℃的高溫。