本發(fā)明提供了一種層結(jié)構(gòu)復(fù)合材料及其制備方法，由于采用表面化學(xué)的方式進(jìn)行了界面處理，提升了材料性能的同時(shí)避免了雜質(zhì)引起的功能缺陷，具體的制備方法為：將拋光后的GaN襯底進(jìn)行清洗處理；用酸清除氮化鎵表面的原生氧化物；在原子層沉積儀中，以惰性氣體為載氣體，襯底溫度為250?350℃，用三甲基鋁處理襯底其中一個(gè)表面；在原子層沉積儀中以惰性氣體為載氣體，利用鋁源和氧源，襯底溫度為250?350℃，沉積氧化鋁介質(zhì)層；在氧化鋁介質(zhì)層鍍上金屬膜。