本發(fā)明屬于氣體敏感型傳感器領(lǐng)域，具體是涉及一種基于有機無機雜化復(fù)合材料的氣體傳感器的制備方法。本發(fā)明主要是為了解決基于無機氣敏材料的半導(dǎo)體氣體傳感器選擇性差、工作溫度高，而基于有機氣敏材料的半導(dǎo)體氣體傳感器靈敏度低，響應(yīng)慢的問題，提出了一種基于有機無機雜化復(fù)合材料的氣體傳感器制備方法，包括：一、無機氣敏材料二氧化錫的制備；二、有機氣敏材料聚合物聚苯胺的制備；三、MEMS氣體傳感器器件制備；四、氣敏材料滴涂與器件燒結(jié)；本發(fā)明制備的氣敏材料比無機氣敏材料選擇性好、工作溫度低，比有機氣敏材料靈敏度高，制備的微型器件溫度分布均勻、功耗低，可用于氣體傳感器的加熱裝置。