本發(fā)明提供了一種用于均熱板進(jìn)行熱擴散的多層復(fù)合材料及其制備方法，所述材料包括多孔金屬層和致密金屬層，多孔金屬層和致密金屬層采用擴散燒結(jié)結(jié)合，所述制備方法包括：將多孔金屬層進(jìn)行光亮退火處理；將基板致密金屬材料進(jìn)行表面處理；將經(jīng)過上述處理的多孔金屬材料與基板致密金屬材料疊放在真空爐或氣氛保護(hù)爐中，進(jìn)行加熱加壓擴散燒結(jié)；在擴散燒結(jié)后，持續(xù)保持燒結(jié)時的壓力，降溫至室溫，破真空或停止氣氛保護(hù)，得到均熱板用熱擴散多層復(fù)合材料。本發(fā)明制備的用于均熱板進(jìn)行熱擴散的多層復(fù)合材料，多孔層的孔隙度、孔徑、厚度等技術(shù)參數(shù)控制準(zhǔn)確，質(zhì)量穩(wěn)定，同時工藝流程短，生產(chǎn)成本低，適合批量化生產(chǎn)。