本實用新型涉及一種鈣鈦礦太陽能電池生產(chǎn)過程的在線監(jiān)控設備，包括X射線光電子能譜分析系統(tǒng)、電子學系統(tǒng)以及分析統(tǒng)計系統(tǒng)，X射線光電子能譜分析系統(tǒng)包括X射線源、電子透鏡以及電子能量分析器，在電子能量分析器內設置電子探測器，X射線源發(fā)射的X射線照射到鈣鈦礦太陽能電池基片表面產(chǎn)生光生電子，電子透鏡接收到上述光電子并傳輸至電子探測器，電子探測器將探測到的光電子信號經(jīng)過電子學系統(tǒng)傳輸至分析統(tǒng)計系統(tǒng)，分析統(tǒng)計系統(tǒng)的分析數(shù)據(jù)反饋至蒸發(fā)控制系統(tǒng)。本實用新型通過監(jiān)測鈣鈦礦薄膜的生產(chǎn)過程中的性能參數(shù)，控制其反應進程，提高各批次鈣鈦礦薄膜生產(chǎn)的重復性。