本發(fā)明涉及
真空泵技術(shù)領(lǐng)域,特別是一種直排大氣的多級羅茨真空泵。該泵具有主從動軸、主從動轉(zhuǎn)子、主從動齒輪,主動齒輪、主動轉(zhuǎn)子安裝在主動軸上,從動齒輪、從動轉(zhuǎn)子安裝在從動軸上,泵體采用多級相連結(jié)構(gòu),隨轉(zhuǎn)子級數(shù)不同分有多個相對獨立的泵腔,每兩個泵腔之間有級間隔板分開,并通過級間氣流通道相連。本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)中一次性投入大、加工難度大、極限真空低、消耗功率大、不能直排大氣、不能用于IC裝備的不足。本發(fā)明在抽氣過程中可保持真空環(huán)境不受污染,適用于半導(dǎo)體、石化、冶金、食品、醫(yī)藥、電子、包裝、印刷等行業(yè)。
聲明:
“直排大氣的多級羅茨干式真空泵” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)