本發(fā)明提供一種新型有序?qū)訝罱Y(jié)構(gòu)Cr/CrxN/MxOy復(fù)合阻氚涂層及其制備方法，該涂層由金屬Cr層、金屬氮化物CrxN層、阻氫氧化物MxOy三層有序復(fù)合而成。MxOy中M表示不同金屬元素，包括Al、Zr、Er、Y、Cr等阻氚涂層領(lǐng)域常見的金屬元素，且MxOy涂層可表示單元金屬氧化物或者二元、三元等多元金屬氧化物以及他們的混合物涂層。該復(fù)合阻氚涂層一方面增加了氚在涂層中的擴(kuò)散路徑，增加了涂層擴(kuò)散界面，有效提高了涂層的阻氚性能，另一方面引入金屬Cr層和CrxN，可與基材形成冶金結(jié)構(gòu)，避免薄膜開裂和剝落，明顯提高膜?基結(jié)合力，且氮化鉻可有效緩解金屬氧化物與基材熱失配問題，提高涂層的抗熱震沖擊性能。