本發(fā)明公開了一種提高Si₃N₄陶瓷與鈦合金焊接性能的表面處理方法，包括以下步驟：步驟a，利用雙輝等離子表面冶金技術(shù)在鈦合金表面制備鎳合金層；步驟b，利用離子注入技術(shù)在Si₃N₄陶瓷表面注入Ti離子；步驟c，將經(jīng)步驟a處理后的鈦合金表面及經(jīng)步驟b處理后的Si₃N₄陶瓷表面在真空擴散焊設(shè)備中實現(xiàn)焊接。本發(fā)明以雙輝等離子表面冶金技術(shù)和離子注入技術(shù)為手段，能夠?qū)崿F(xiàn)Si₃N₄陶瓷與不同鈦合金的真空擴散焊接，大幅度提高真空擴散焊在Si₃N₄陶瓷/鈦合金焊接工藝中的應用。