本發(fā)明公開了屬于粉末冶金技術(shù)領(lǐng)域的一種低氧球形Al粉及其制造方法。所述Al粉采用純度不低于99.9995％的高純Al錠為原料，通過冷鍛工藝加工成圓柱形坯料，其中鑄錠變形量＞65％，然后制備出Al電極棒，采用等離子旋轉(zhuǎn)電極霧化法制備出低氧球形Al粉。所制備粉末純度≥99.999％，氧含量＜100ppm，球形度可達(dá)到90％以上，提高了粉冶金屬產(chǎn)品的致密性及力學(xué)性能，滿足了特種高純金屬合金的使用要求。