一種鋁鈦鈮合金靶材及其制備方法,該鋁鈦鈮靶材由以下原子百分比的原料制成:鋁50%~75%;鈦25~40%;鈮0.5~25%。本發(fā)明還包括鋁鈦鈮合金靶材的粉末熱壓燒結(jié)和真空熱處理方法。本發(fā)明利用鋁、鈦、鈮之間原子擴(kuò)散實(shí)現(xiàn)冶金結(jié)合,在溫度和壓力的共同作用下,獲得致密度高的鋁鈦鈮三元合金靶材,是一種短流程、易操作的
粉末冶金靶材生產(chǎn)過程。
聲明:
“鋁鈦鈮三元合金靶材及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)