本發(fā)明公開了一種提高Si₃N₄陶瓷與γ?TiAl合金焊接性能的表面處理方法，包括以下步驟：(1)利用雙輝等離子表面冶金方法在γ?TiAl合金表面制備鎳合金層；所述鎳合金層包括鎳沉積層及互擴(kuò)散層；(2)利用離子注入方法在Si₃N₄陶瓷表面注入Ti離子，對Si₃N₄陶瓷表面進(jìn)行處理；(3)將步驟(1)得到的經(jīng)雙輝等離子表面冶金方法處理的γ?TiAl合金及步驟(2)得到的經(jīng)過表面處理的Si₃N₄陶瓷，在真空擴(kuò)散焊設(shè)備中實(shí)現(xiàn)焊接。本發(fā)明在γ?TiAl合金表面制備鎳合金層，并利用離子注入方法在Si₃N₄陶瓷表面注入Ti離子，γ?TiAl合金和Si₃N₄陶瓷表面處理后，可直接實(shí)現(xiàn)Si₃N₄陶瓷與γ?TiAl合金的真空擴(kuò)散焊接，此方法效率高，可大幅度提高真空擴(kuò)散焊在Si₃N₄陶瓷與γ?TiAl合金焊接工藝中的應(yīng)用。