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制造倒裝芯片器件的結(jié)構(gòu)和方法

940   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 14:45:02
本發(fā)明提供焊料凸塊結(jié)構(gòu)和凸塊下冶金結(jié)構(gòu)。半導(dǎo)體襯底的上表面包含置于其上的第一導(dǎo)電焊盤(200)。鈍化層(202)覆蓋上述上表面。第二導(dǎo)電焊盤(212)置于鈍化層中的開口(204)中并與第一導(dǎo)電焊盤相接觸。凸塊下冶金結(jié)構(gòu)(300)包封第二導(dǎo)電焊盤,覆蓋第二導(dǎo)電焊盤的上表面和側(cè)壁面,保護(hù)第一和第二導(dǎo)電焊盤免受環(huán)境和工藝的影響。根據(jù)本發(fā)明,不再需要傳統(tǒng)的第二鈍化層。還給出了形成各種結(jié)構(gòu)的方法。
聲明:
“制造倒裝芯片器件的結(jié)構(gòu)和方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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