權(quán)利要求書： 1.含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)，其特征在于：它依次包括廢液氣焚燒爐（1）、急冷塔（2）、噴淋塔（3）、水洗塔（4）、堿洗塔（5）、引風(fēng)機（6）、濕式靜電除塵器（7）和煙囪（8），所述急冷塔（2）與集酸罐Ⅰ（9）相連，所述集酸罐Ⅰ（9）與HF酸回收裝置（10）相連，所述集酸罐Ⅰ（9）通過急冷泵（11）、石墨冷凝器Ⅰ（12）與急冷塔（2）相連，所述噴淋塔（3）與集酸罐Ⅱ（13）相連，所述集酸罐Ⅱ（13）通過循環(huán)泵（14）、石墨冷凝器Ⅱ（15）與噴淋塔（3）相連，所述循環(huán)泵（14）與集酸罐Ⅰ（9）相連，所述水洗塔（4）與水洗罐（16）相連，所述水洗罐（16）通過水洗泵（17）與水洗塔（4）相連，所述水洗泵（17）與集酸罐Ⅱ（13）相連，所述堿洗塔（5）與循環(huán)堿液罐（18）相連，所述循環(huán)堿液罐（18）通過堿洗泵（19）與堿洗塔（5）相連，所述濕式靜電除塵器（7）與循環(huán)堿液罐（18）相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)，其特征在于：所述堿洗塔（5）設(shè)置兩個，它們分別為一級堿洗塔（20）和二級堿洗塔（21），所述一級堿洗塔（20）和二級堿洗塔（21）串聯(lián)設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)，其特征在于：所述急冷塔（2）采用水夾套內(nèi)襯整體石墨塔體結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)，其特征在于：所述急冷塔（2）、噴淋塔（3）、水洗塔（4）和堿洗塔（5）設(shè)在同一底座（22）上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)，其特征在于：在所述水洗罐（16）內(nèi)通入工業(yè)用水。

說明書： 含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實用新型涉及一種廢液氣處理系統(tǒng)，具體涉及一種含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)。

背景技術(shù)[0002] 目前，根據(jù)含氟廢液、廢氣的成分及燃燒分解后的產(chǎn)物分析，煙氣中的主要污染因子為HF，所以在整個處理系統(tǒng)中需考慮HF酸的回收。另外，現(xiàn)有的含氟廢液廢氣焚燒系統(tǒng)，

存在處理效果一般，運行不夠平穩(wěn)等問題。

發(fā)明內(nèi)容[0003] 發(fā)明目的：本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種帶HF酸回收，整體處理效果好，運行安全穩(wěn)定的含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)。

[0004] 技術(shù)方案：為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型所述的含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)，它依次包括廢液氣焚燒爐、急冷塔、噴淋塔、水洗塔、堿洗塔、引風(fēng)機、濕式靜電除

塵器和煙囪，所述急冷塔與集酸罐Ⅰ相連，所述集酸罐Ⅰ與HF酸回收裝置相連，所述集酸罐Ⅰ

通過急冷泵、石墨冷凝器Ⅰ與急冷塔相連，所述噴淋塔與集酸罐Ⅱ相連，所述集酸罐Ⅱ通過

循環(huán)泵、石墨冷凝器Ⅱ與噴淋塔相連，所述循環(huán)泵與集酸罐Ⅰ相連，所述水洗塔與水洗罐相

連，所述水洗罐通過水洗泵與水洗塔相連，所述水洗泵與集酸罐Ⅱ相連，所述堿洗塔與循環(huán)

堿液罐相連，所述循環(huán)堿液罐通過堿洗泵與堿洗塔相連，所述濕式靜電除塵器與循環(huán)堿液

罐相連。

[0005] 進一步地，所述堿洗塔設(shè)置兩個，它們分別為一級堿洗塔和二級堿洗塔，所述一級堿洗塔和二級堿洗塔串聯(lián)設(shè)置。

[0006] 進一步地，所述急冷塔采用水夾套內(nèi)襯整體石墨塔體結(jié)構(gòu)。[0007] 進一步地，所述急冷塔、噴淋塔、水洗塔和堿洗塔設(shè)在同一底座上。[0008] 進一步地，在所述水洗罐內(nèi)通入工業(yè)用水。[0009] 本實用新型中，煙氣處理流程如下：[0010] 焚燒產(chǎn)生的煙氣進入急冷塔，通過大水量噴淋使煙氣溫度從1300℃降低到80℃以下；

[0011] 煙氣接著經(jīng)過噴淋塔進行降溫和除酸，使煙氣溫度瞬間降低到60℃以下，同時通過大量水吸收煙氣中的酸性氣體回收酸；

[0012] 煙氣再次經(jīng)水洗塔洗滌，進一步降溫及減少煙氣中的酸性氣體；[0013] 煙氣經(jīng)過兩級堿洗塔中和除去殘留酸性氣體，保證煙氣達標(biāo)排放；[0014] 最后煙氣經(jīng)過濕式靜電除塵器去除大顆粒水滴；[0015] 達標(biāo)煙氣通過煙囪排放到大氣中去。[0016] 有益效果：本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其顯著優(yōu)點是：本實用新型整體結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，采用依次連接的廢液氣焚燒爐、急冷塔、噴淋塔、水洗塔、堿洗塔、引風(fēng)機、濕式靜電除

塵器和煙囪，整體運行平穩(wěn)、處理效果好，含氟廢液、廢氣充分燃燒產(chǎn)生的高溫?zé)煔馔ㄟ^急

冷塔瞬間降低煙氣溫度，用循環(huán)水吸收煙氣中的酸性氣體回收HF酸液，最后經(jīng)水洗塔洗滌、

堿洗塔除酸、濕式電除塵后排放到大氣中去，其中從廢液氣焚燒爐出來的煙氣進入石墨急

冷塔，石墨急冷塔采用大水量噴淋，使煙氣與水充分接觸，有效降低煙氣溫度和充分吸收煙

氣中的HF，并通過集酸罐的循環(huán)吸收，可回收酸液，急冷塔塔體采用水夾套內(nèi)襯整體石墨結(jié)

構(gòu)，確保塔體的使用壽命，噴淋塔采用鋼襯PP，進一步降低煙氣溫度及吸收外煙氣中的HF氣

體，并通過集酸罐的循環(huán)吸收，回收酸液，水洗塔能夠進一步降低煙氣的溫度，同時通過水

洗繼續(xù)吸收煙氣中的酸性氣體，堿洗塔能夠進一步降低煙氣的溫度，同時通過堿液與煙氣

中的酸性氣體進行充分完全的中和反應(yīng)，從而去除煙氣中的殘留的酸性氣體，本系統(tǒng)使用

可靠，符合實際使用要求。

附圖說明[0017] 圖1是本實用新型的連接框圖；[0018] 圖2是本實用新型的主體平面結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式[0019] 下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步的說明。[0020] 如圖1和圖2所示，本實用新型所述的含氟廢液廢氣焚燒及HF酸回收系統(tǒng)，它依次包括廢液氣焚燒爐1、急冷塔2、噴淋塔3、水洗塔4、堿洗塔5、引風(fēng)機6、濕式靜電除塵器7和煙

囪8，所述急冷塔2、噴淋塔3、水洗塔4和堿洗塔5設(shè)在同一底座22上，所述急冷塔2采用水夾

套內(nèi)襯整體石墨塔體結(jié)構(gòu)，所述堿洗塔5設(shè)置兩個，它們分別為一級堿洗塔20和二級堿洗塔

21，所述一級堿洗塔20和二級堿洗塔21串聯(lián)設(shè)置，所述急冷塔2與集酸罐Ⅰ9相連，所述集酸

罐Ⅰ9與HF酸回收裝置10相連，所述集酸罐Ⅰ9通過急冷泵11、石墨冷凝器Ⅰ12與急冷塔2相連，

所述噴淋塔3與集酸罐Ⅱ13相連，所述集酸罐Ⅱ13通過循環(huán)泵14、石墨冷凝器Ⅱ15與噴淋塔

3相連，所述循環(huán)泵14與集酸罐Ⅰ9相連，所述水洗塔4與水洗罐16相連，在所述水洗罐16內(nèi)通

入工業(yè)用水，所述水洗罐16通過水洗泵17與水洗塔4相連，所述水洗泵17與集酸罐Ⅱ13相

連，所述堿洗塔5與循環(huán)堿液罐18相連，所述循環(huán)堿液罐18通過堿洗泵19與堿洗塔5相連，所

述濕式靜電除塵器6與循環(huán)堿液罐18相連。

[0021] 本實用新型整體結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，采用依次連接的廢液氣焚燒爐、急冷塔、噴淋塔、水洗塔、堿洗塔、引風(fēng)機、濕式靜電除塵器和煙囪，整體運行平穩(wěn)、處理效果好，含氟廢液、廢

氣充分燃燒產(chǎn)生的高溫?zé)煔馔ㄟ^急冷塔瞬間降低煙氣溫度，用循環(huán)水吸收煙氣中的酸性氣

體回收HF酸液，最后經(jīng)水洗塔洗滌、堿洗塔除酸、濕式電除塵后排放到大氣中去，其中從廢

液氣焚燒爐出來的煙氣進入石墨急冷塔，石墨急冷塔采用大水量噴淋，使煙氣與水充分接

觸，有效降低煙氣溫度和充分吸收煙氣中的HF，并通過集酸罐的循環(huán)吸收，可回收酸液，急

冷塔塔體采用水夾套內(nèi)襯整體石墨結(jié)構(gòu)，確保塔體的使用壽命，噴淋塔采用鋼襯PP，進一步

降低煙氣溫度及吸收外煙氣中的HF氣體，并通過集酸罐的循環(huán)吸收，回收酸液，水洗塔能夠

進一步降低煙氣的溫度，同時通過水洗繼續(xù)吸收煙氣中的酸性氣體，堿洗塔能夠進一步降

低煙氣的溫度，同時通過堿液與煙氣中的酸性氣體進行充分完全的中和反應(yīng)，從而去除煙

氣中的殘留的酸性氣體，本系統(tǒng)使用可靠，符合實際使用要求。

[0022] 本實用新型提供了一種思路及方法，具體實現(xiàn)該技術(shù)方案的方法和途徑很多，以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，

在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視

為本實用新型的保護范圍，本實施例中未明確的各組成部分均可用現(xiàn)有技術(shù)加以實現(xiàn)。