高溫超納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)

全球**臺真正意義的商品化的高溫高真空超納米壓痕儀，主要測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統(tǒng)，溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。** UNHT3技術(shù)與獨特的加熱功能結(jié)合，可提供在任何溫度下的高穩(wěn)定性測量解決方案。

主要特點新一代的高溫納米壓痕測試儀

環(huán)境條件下*低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內(nèi)*低熱漂移 (< 3 nm/min)。

**載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和*低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結(jié)合，可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。

高真空系統(tǒng)具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統(tǒng)，允許在測量期間關(guān)閉初級泵，使振動降至*低。

獨特的加熱控制系統(tǒng)（3 項**待批），采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱，以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內(nèi)。

符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標(biāo)準(zhǔn)

技術(shù)指標(biāo)

載荷
**載荷	100 mN
載荷分辨率	6 nN
本底噪音	0.5 [rms] [μN]*
位移
**位移	100 μm
位移分辨率	0.006 nm
本底噪音	0.15 [rms] [nm]*
極限真空度	10?mBar
**溫度	800 °C