反射膜厚儀/測厚儀/F50系列

自動(dòng)多點(diǎn)測量成像

Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑標(biāo)配200mm，可達(dá)450mm。(穩(wěn)定的樣品臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法，并且不受測量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。

不同的F50型號(hào)儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的F50是受歡迎的產(chǎn)品。一般較短的波長(如F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

可測樣品膜層：

基本上所有光滑的，非金屬的薄膜都可以測量。

可測樣品包括：

氧化硅 氮化硅 類金剛石 DLC

光刻膠 聚合物 聚亞酰胺

多晶硅 非晶硅 硅

額外的好處：

· 每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種

· 應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)

· 網(wǎng)上的 “手把手” 支持(需要連接互聯(lián)網(wǎng))

· 硬件升級(jí)計(jì)劃