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雙室高真空鍍膜設(shè)備

雙室高真空鍍膜設(shè)備

187
規(guī)格/型號(hào):暫無
品牌:科誠
應(yīng)用領(lǐng)域:冶金
產(chǎn)地:遼寧 - 沈陽
廠家/供應(yīng)商:沈陽科誠真空技術(shù)有限公司
咨詢電話::13998121527(請(qǐng)說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”)
更新時(shí)間:2025-03-27
級(jí)別:待認(rèn)證

雙室高真空鍍膜設(shè)備說明介紹

雙室高真空鍍膜設(shè)備

一、電子束水冷樣品臺(tái)組件1件


  1、旋轉(zhuǎn):57CM23步進(jìn)電機(jī),1件光電限位開關(guān)(前后兩點(diǎn));

  2、升降:57CM23步進(jìn)電機(jī),配速比1:5減速器,升降2點(diǎn)接觸限位開關(guān),觸摸屏上顯示電子束高點(diǎn)400mm,低點(diǎn)300mm,金屬源高點(diǎn)340mm,低點(diǎn)240mm,另取1點(diǎn),可隨意定位;

 3、樣品臺(tái)擋板:24V減速電機(jī),2件限位開關(guān)。

二、有機(jī)水冷樣品臺(tái)組件1件

  1、旋轉(zhuǎn):57CM23步進(jìn)電機(jī),1件光電限位開關(guān)(前后兩點(diǎn));

  2、升降:57CM23步進(jìn)電機(jī),配速比1:5減速器,升降2點(diǎn)接觸限位開關(guān)(觸摸屏上顯示高點(diǎn)340mm,低點(diǎn)240mm),另取1點(diǎn),可隨意定位;

  3、樣品臺(tái)擋板:24V減速電機(jī),2件限位開關(guān)。

三、電子束蒸發(fā)源組件

  1、8KW電子束1套,380V

  2、金屬源3套,1KW金屬源電源1套(一帶三);

  3、氣動(dòng)擋板4套,24V換向閥。

四、有機(jī)蒸發(fā)源組件

  1、有機(jī)源6套,有機(jī)源電源3套(一帶二);

  2、氣動(dòng)擋板6套,24V換向閥。

五、真空泵機(jī)組

  1、VRD-30雙級(jí)泵2臺(tái)(220V);

  2、DDC-JQ40-KF真空電磁充氣閥2臺(tái)(220V);

  3、GDQ-J40B-KF高真空氣動(dòng)擋板閥2臺(tái)(24V);

  4、JTFB-1200風(fēng)冷復(fù)合分子泵1臺(tái)(220V);

  5、JTFB-600風(fēng)冷復(fù)合分子泵1臺(tái)(220V);

  6、CCQ-200CF氣動(dòng)超高真空插板閥1臺(tái)(24V);

  7、CCQ-150CF氣動(dòng)超高真空插板閥1臺(tái)(24V);

  8、CDQ-J40B-CF超高真空氣動(dòng)擋板閥2臺(tái)(24V);

  9、GDQ-J16B-KF高真空氣動(dòng)擋板閥2臺(tái)(24V);

  10、ZDF-5227數(shù)顯真空計(jì)1臺(tái)(兩高兩低,測(cè)量范圍:1×105~1×10-5Pa)(220V)。

六、烘烤照明

  24V,250W鹵鎢燈每套真空室各2套,烘烤照明電源:1臺(tái)或者兩臺(tái)

七、電控系統(tǒng)

  采用機(jī)架內(nèi)置,可用空間710mm高3列,左側(cè)上部170mm不可用,右側(cè)上部120mm不可用。

八、10英寸觸摸屏

九、電子束膜厚系統(tǒng)

  1、SQC310兩通道石英晶振膜厚監(jiān)測(cè)儀1臺(tái);

  2、MCVAC水冷膜厚探頭2件。

十、膜厚系統(tǒng)

  1、SQM160兩通道石英晶振膜厚監(jiān)測(cè)儀1臺(tái);

  2、MCVAC水冷膜厚探頭2件

十一、其他

  1、小型冷水機(jī)1臺(tái);

  2、小型空壓機(jī)1臺(tái)。
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