品牌型號(hào)： 賽默斐視

檢測(cè)對(duì)象： 薄膜/鍍膜/涂布等

厚度范圍： 10納米-100微米

檢測(cè)精度： 0.1mm(取決于相機(jī)數(shù)量、產(chǎn)線幅寬及車速)

軟件功能： 提供針對(duì)客戶在線系統(tǒng)的定制檢測(cè)系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹

現(xiàn)代薄膜涂布鍍層工藝在進(jìn)行在線生產(chǎn)過程中，需要對(duì)膜厚及涂層厚度進(jìn)行實(shí)時(shí)的在線測(cè)厚，由于傳統(tǒng)的射線類膜厚檢測(cè)儀檢測(cè)精度低、易偏移、難于校準(zhǔn)等缺點(diǎn)給實(shí)際的工藝產(chǎn)品質(zhì)量控制造成了很大的影響，SIMV涂層(膜厚)在線測(cè)厚儀，采用納米光學(xué)干涉的方式，可同時(shí)對(duì)20層不用涂層、薄膜進(jìn)行同時(shí)測(cè)量，同時(shí)精度高達(dá)1nm，完美的解決了傳統(tǒng)射線類在線測(cè)厚儀有輻射、偏移周期長(zhǎng)、檢測(cè)精度低、不能檢測(cè)涂層厚度的缺點(diǎn)。賽默斐視涂層厚度在線測(cè)厚儀檢測(cè)精度高，同時(shí)能夠?qū)崟r(shí)在線自動(dòng)校準(zhǔn)，有效的保證了在線測(cè)厚儀的檢測(cè)精度。

【檢測(cè)原理】

當(dāng)特定波長(zhǎng)的光通過不同的的材料(不同的厚度、密度、成分)時(shí)，經(jīng)過表面及內(nèi)部多次反射之后形成的光譜條紋是完全不一樣的，系統(tǒng)通過分析所接收到的反射光的光譜干涉條紋特性，與系統(tǒng)庫中的光譜曲線進(jìn)行匹配和對(duì)比，同時(shí)進(jìn)行特征曲線的仿真和擬合，進(jìn)而對(duì)每種不同成分厚度的涂層進(jìn)行在線測(cè)量。

1.入射光在膜的上下表面發(fā)生多次反射。

2.反射光的強(qiáng)度和薄膜折射率，基底(substrate)折射率及膜厚，波長(zhǎng)有關(guān)。

3.在已知折射率的情況下，根據(jù)測(cè)量出的反射光強(qiáng)和波長(zhǎng)的函數(shù)，計(jì)算出膜厚。

功能概述

1測(cè)量鍍膜或涂布厚度，厚度范圍在10納米-100微米，準(zhǔn)確度達(dá)到2納米或厚度0.4%，精度達(dá)到0.1納米，測(cè)量穩(wěn)定性0.3納米。

2精確測(cè)量樣品的顏色和在380-780納米可見光范圍內(nèi)的反射率曲線。

3測(cè)量軟件支持20層以內(nèi)的物理模型，并對(duì)多個(gè)參數(shù)進(jìn)行同時(shí)測(cè)量。

4具有折射率模型編輯擬合功能，對(duì)于100納米-幾個(gè)微米的膜，可以在折射率未知的情況下，結(jié)合軟件對(duì)膜厚，折射率參數(shù)進(jìn)行同時(shí)測(cè)量。

5軟件具有對(duì)樣品的粗糙度，背面反射，多角度入射進(jìn)行建模的功能

6軟件還可針對(duì)已知樣品的模型，使用不同入射角和偏振進(jìn)行仿真以計(jì)算不同情況下反射率曲線。

7軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫，同時(shí)還支持函數(shù)型(Cauchy,Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

8客戶還可以通過軟件自帶數(shù)據(jù)庫對(duì)材料，菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果

9我們還提供針對(duì)客戶在線系統(tǒng)的定制檢測(cè)系統(tǒng)。