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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級(jí)硫酸錳鋰電正負(fù)極三元前驅(qū)體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負(fù)極硅氧負(fù)極電解液隔膜隔膜電解液電芯

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晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)

255

規(guī)格/型號(hào)：FR-Ultra

品牌：岱美儀器

應(yīng)用領(lǐng)域：檢測(cè)設(shè)備

產(chǎn)地：上海 - 上海

廠家/供應(yīng)商：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司

咨詢電話:：4008529632（請(qǐng)說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）

更新時(shí)間：2025-03-17

級(jí)別：待認(rèn)證

晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)說明介紹

晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述：FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備，專門用于快速、準(zhǔn)確和無損測(cè)量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。

FR-Ultra: 晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)

FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備，專門用于快速、準(zhǔn)確和無損測(cè)量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。

FR-Ultra是用于精確測(cè)量由半導(dǎo)體和（或）介電材料制成的厚層和超厚層的專用工具。由于其先進(jìn)的光學(xué)性能，F(xiàn)R-Ultra可用于測(cè)量不同平滑度的薄膜和非常厚的襯底。

典型應(yīng)用包括:

厚玻璃的厚度測(cè)量(在清晰度不同的情況下最大厚度可達(dá)2mm)；晶圓片的厚度測(cè)量(如單面或雙面拋光晶圓，最大直徑可達(dá)12 英寸)。

FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標(biāo)系和極坐標(biāo)結(jié)合，用于大面積的厚度測(cè)量。

測(cè)量原理

白光反射光譜（WLRS）測(cè)量在一定光譜范圍內(nèi)從單或多層薄膜堆疊結(jié)構(gòu)的反射光，其中入射光垂直于樣品表面。藉由測(cè)量各個(gè)界面干涉產(chǎn)生的反射光譜來計(jì)算單層/疊層薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)（n 和k）等。並支持透明或部分反射基材等。

*規(guī)格如有更改，恕不另行通知;

**100μm DSP硅片的測(cè)量值對(duì)應(yīng)于測(cè)量厚度值在精度范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)(0.4%)；

***500μm DSP硅片的測(cè)量值對(duì)應(yīng)于測(cè)量厚度值在精度范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)(0.4%)