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自動化高速薄膜厚度測量儀

自動化高速薄膜厚度測量儀

260
規(guī)格/型號:FR-Scanner
品牌:岱美儀器
應(yīng)用領(lǐng)域:檢測設(shè)備
產(chǎn)地:上海 - 上海
廠家/供應(yīng)商:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
咨詢電話::4008529632(請說明信息源自“中冶有色網(wǎng)”)
更新時間:2025-03-17
級別:待認(rèn)證

自動化高速薄膜厚度測量儀說明介紹

FR-Scanner:自動化高速薄膜厚度測量儀

FR-Scanner:自動化高速薄膜厚度測量儀

簡要描述:光學(xué)厚度測量儀的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計、復(fù)合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

Thetametrisis顯示器薄膜測量儀 FR-Scanner 是一種緊湊的臺式工具,適用于自動測繪晶圓片上的涂層厚度。FR-Scanner 可以快速和準(zhǔn)確測量薄膜特性:厚度,折射率,均勻性,顏色等。真空吸盤可應(yīng)用于任何直徑或其他形狀的樣片。

1、應(yīng)用

半導(dǎo)體生產(chǎn)制造:(光刻膠, 電介質(zhì),光子多層結(jié)構(gòu), poly-Si, Si, DLC, )

光伏產(chǎn)業(yè)

液晶顯示

光學(xué)薄膜

聚合物

微機(jī)電系統(tǒng)和微光機(jī)電系統(tǒng)

基底:透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

Thetametrisis顯示器薄膜測量儀*的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計、復(fù)合光源(壽命10000小時)、高精度反射探頭。因此,在準(zhǔn)確性、重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面保證了優(yōu)異的性能。

Thetametrisis顯示器薄膜測量儀 光學(xué)厚度測量儀通過高速旋轉(zhuǎn)平臺和光學(xué)探頭直線移動掃描晶圓片(極坐標(biāo)掃描)。通過這種方法,可以在很短的時間內(nèi)記錄具有高重復(fù)性的精確反射率數(shù)據(jù),這使得FR-Scanner 成為測繪晶圓涂層或其他基片涂層的理想工具。

2、特征

單點(diǎn)分析(不需要預(yù)估值)

動態(tài)測量

包括光學(xué)參數(shù)(n和k,顏色) o 為演示保存視頻

600 多種的預(yù)存材料

離線分析

免費(fèi)軟件更新
FR-Scanner:自動化高速薄膜厚度測量儀
4、測量原理

白光反射光譜(WLRS)是測量從單層薄膜或多層堆疊結(jié)構(gòu)的一個波長范圍內(nèi)光的反射量,入射光垂直于樣品表面,由于界面干涉產(chǎn)生的反射光譜被用來計算確定(透明或部分透明或*反射基板上)的薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)(n和k)等。

1、樣片平臺可容納任意形狀的樣品。450mm平臺也可根據(jù)要求提供。真正的X-Y掃描也可能通過定制配置;

2、硅基板上的單層SiO2薄膜的厚度值。對于其他薄膜/基質(zhì),這些值可能略有不同;

3、15天平均值的標(biāo)準(zhǔn)差平均值。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅;

4、2 X (超過15天的日平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差)。樣品:硅晶片上1微米的二氧化硅;

5、測量結(jié)果與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀比較;

6、根據(jù)材料;

7、測量以8 "晶圓為基準(zhǔn)。如有特殊要求,掃描速度可超過1000次測量/每分鐘.
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