COV型真空爐，其特點(diǎn)在于加熱器和由石墨或碳碳復(fù)合纖維制成以及墨氈制成的隔熱層，是用于高溫工藝的電阻加熱批次爐系統(tǒng)。為氮化硼，碳化硅，氮化硅和熱解碳等應(yīng)用提供非標(biāo)定制CVD/CVI反應(yīng)爐以及氟離子清洗 & CVA 爐。提供定制化陶瓷基復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積(CVD和CVI)交鑰匙系統(tǒng)和解決方案。

石墨純化爐

首先在真空條件下對批量產(chǎn)品進(jìn)行高溫純化，在該過程中，揮發(fā)性成分經(jīng)高溫釋放揮發(fā)。下一步處理使用鹵素氣體，確保氯和氟在工藝中作為有效的反應(yīng)物。典型的最高工藝溫度為2200℃，但在個別情況下可以達(dá)到2400℃。

在這種極端的工藝條件下，必須要最大限度地考慮安全問題，并精準(zhǔn)了解所用材料的確切特性。

在選擇所用的材料和部件時要考慮到反應(yīng)性氣氛，以確保系統(tǒng)具有盡可能長的使用壽命。

為了確保符合德國TA Luft空氣質(zhì)量法規(guī)等標(biāo)準(zhǔn)，使用的工藝氣體及其反應(yīng)產(chǎn)物作為廢氣排放前需要進(jìn)行后處理。這種后處理通常由一個氣體洗滌器來完成。

CVD/CVI/CVA涂層爐

為了給石墨部件涂層，前驅(qū)體被引入反應(yīng)爐室，在某些時候需要以液體形式進(jìn)行計量。這些前體在反應(yīng)室中分解成活性成分，然后這些成分在爐內(nèi)氣氛的條件下作為功能性涂層沉積在部件上。工藝溫度通常高達(dá)1800℃。

涂層工藝要獲得成功，需仔細(xì)考量有效空間內(nèi)的溫度分布，氣體流動以及工藝氣體中與位置有關(guān)的溫度。

為了確保符合德國TA Luft空氣質(zhì)量法規(guī)等標(biāo)準(zhǔn)，使用的工藝氣體及其反應(yīng)產(chǎn)物需要對廢氣進(jìn)行后處理。該后處理一般通過使用氣體洗滌器進(jìn)行。