LPCVD MM650是一款低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，工藝成熟且穩(wěn)定，早期用于TOPcon電池的量產(chǎn)。其產(chǎn)能為每小時9400片182*182電池，且產(chǎn)線平均良率較高，鍍膜均勻性好。設(shè)備擁有自有專利的布?xì)庀到y(tǒng)，增加了流場的均勻性和可控性。其主要優(yōu)點包括：高良率，得益于專利流程設(shè)計;石英管周期長，通過特殊設(shè)計的固定方式和低耗氣量，實現(xiàn)了6個月的使用周期;溫場穩(wěn)定，通過合理的加熱絲布局，確保溫場的一致性和可控性?？傊?，LPCVD MM650在產(chǎn)能、良率和穩(wěn)定性方面表現(xiàn)出色。

氣相沉積設(shè)備LPCVD MM650

低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備,工藝成熟，穩(wěn)定，較早用于TOPcon電池量產(chǎn)的LPCVD設(shè)備。

產(chǎn)能：

9400PCS/小時@182*182電池產(chǎn)線平均良率較高，鍍膜均勻性好;自有專利的布?xì)庀到y(tǒng)，增加了流場均勻性和可控性

設(shè)備優(yōu)點：

良率高：自有專利的流程設(shè)計帶來量產(chǎn)中高的良率，鍍膜均勻性好。

石英管周期長：通過特殊設(shè)計的石英管固定方式和低的耗氣量，實現(xiàn)6個月的使用周期。

溫場穩(wěn)定：通過合理的加熱絲布局，具有較好一致性好和可控性，從而使溫場穩(wěn)定可控。