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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物正極材料電芯金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽三元前驅(qū)體材料高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷三元前驅(qū)體三元材料鈷酸鋰三元正極材料錳錳礦電解錳電池級(jí)硫酸錳鋰電正極三元前驅(qū)體磷酸鐵四氧化三鈷鋰電負(fù)極石油焦煅燒焦針狀焦瀝青焦包覆瀝青炭黑增炭劑光伏材料多晶硅硅片電池片光伏組件光伏玻璃工業(yè)硅隔膜隔膜電解液電解液

基礎(chǔ)金屬

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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

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規(guī)格/型號(hào)：暫無

品牌：歐特真空

應(yīng)用領(lǐng)域：冶金

產(chǎn)地：遼寧 - 沈陽

廠家/供應(yīng)商：沈陽歐特真空科技有限公司

咨詢電話:：13998100263（請(qǐng)說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”）

更新時(shí)間：2025-02-17

級(jí)別：待認(rèn)證

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD說明介紹

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）是一種在冶金和材料科學(xué)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的技術(shù)，它通過利用等離子體的活性來增強(qiáng)化學(xué)反應(yīng)速率，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量薄膜的沉積。這種設(shè)備在制備高性能的金屬和非金屬薄膜方面具有重要作用，尤其是在需要精確控制膜厚、成分和結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中。

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD設(shè)備主要由高真空獲得與測(cè)量系統(tǒng)、樣品臺(tái)、平行板式輝光等離子體電極系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)及電氣控制系統(tǒng)等五部分組成。高真空機(jī)組采用復(fù)合分子泵和機(jī)械泵組成，確保了極限真空度達(dá)到≤6.7×10^-5Pa，漏率≤10^-7 Pa?L/s，為PECVD過程提供了理想的高真空環(huán)境。大面積樣品臺(tái)，襯底可加熱，平行板式輝光等離子體電極?400，可在線升降，這些設(shè)計(jì)使得設(shè)備能夠處理各種尺寸和形狀的樣品，適用于多種材料的薄膜沉積。

一、設(shè)備主要功能及組成

1. 設(shè)備主要由高真空獲得與測(cè)量系統(tǒng)、樣品臺(tái)、平行板式輝光等離子體電極系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)及電氣控制系統(tǒng)等五部分組成。

2. 高真空機(jī)組采用復(fù)合分子泵和機(jī)械泵組成。

3. 大面積樣品臺(tái)，襯底可加熱。

4. 多種工藝氣體可選，氣路系統(tǒng)定制。

5. 可選配膜厚控制儀，進(jìn)行在線測(cè)量和監(jiān)控。

6. 電氣控制系統(tǒng)具有多種報(bào)警功能，能及時(shí)提示故障情況，保障設(shè)備安全運(yùn)行。

二、主要技術(shù)參數(shù)

1．真空室尺寸：?450×450（可定制）

2．極限真空度：≤6.7×10-5Pa

3．漏率：≤10-7 Pa?L/s

4．樣品臺(tái)：可旋轉(zhuǎn)、襯底加熱