OTF-1200X-S2-50SL 1200℃小型雙爐體滑動(dòng)管式爐
應(yīng)用范圍:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-S2-50SL
上架時(shí)間 :2019-07-22
安裝尺寸:爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H
整體:1600mm L x 430mm W x 500mm H
重量:80Kg
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動(dòng)管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個(gè)爐體可在滑軌上滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)對(duì)原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動(dòng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時(shí)可選擇電動(dòng)滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來(lái)搭建TCVD系統(tǒng)。
性能指標(biāo)和基本配置