單晶提拉爐
一、主要技術(shù)參數(shù)：
1、熔料量：2Kg(以金屬銦7.3g/cm3計(jì))
2、工作溫度：500℃；
3、設(shè)計(jì)溫度：800℃；
4、坩堝材質(zhì)：超高純石墨；
5、加熱方式：石墨加熱；
6、電極中心距/數(shù)量：300mm（一對(duì)）；
7、功率：30KW；
8、冷爐的極限真空度：≤6.67*10-2pa；
9、冷爐泄漏率：≤10Pa/h；
10、爐膛設(shè)計(jì)壓力：≤0.03MPa；
11、籽晶拉速范圍：2～80mm/h；
12、籽晶桿快升/快降：≥100mm/min；
13、籽晶桿轉(zhuǎn)速范圍：1～50rpm；
14、坩堝行程：150mm；
15、坩堝轉(zhuǎn)速范圍：5～15rpm；
16、下降桿快升/快降：50mm/min；
17、水冷系統(tǒng):室外閉式循環(huán)冷卻系統(tǒng)，流量5m3/h。
18、控溫精度：±1℃。
二、結(jié)構(gòu)及性能說(shuō)明：
SG-GJL800型單晶提拉爐主要部分組成
1、爐體：
真空爐室尺寸φ400*700mm，雙層通水爐壁用304不銹鋼，爐門為側(cè)開門，爐門上設(shè)有通水石英觀察窗。
2、真空系統(tǒng)：
2.1為適應(yīng)用戶的工藝要求，配備擴(kuò)散泵機(jī)組。
2.2真空閥為真空碟閥；在機(jī)械泵抽氣口安裝有電磁真空壓差放氣閥。
3、真空計(jì)：
真空計(jì)是用來(lái)測(cè)量真空度的裝置。設(shè)備中設(shè)置了壓力真空表（安裝在與爐體的真空管道上）與熱偶真空計(jì)兩種；真空硅管安裝在爐體排氣口與真空碟閥連接的管道上，用來(lái)測(cè)量真空度。
4、提拉機(jī)構(gòu)：
采用滾珠絲杠加導(dǎo)軌拖動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)直線運(yùn)動(dòng)。稱重控制采用應(yīng)變式傳感器。提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度在觸摸屏上設(shè)置，具有故障報(bào)警、報(bào)警記錄、數(shù)據(jù)記錄，斷電自動(dòng)處理，超壓報(bào)警等，數(shù)據(jù)記錄可以通過(guò)U盤拷出放入計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。
5、加熱系統(tǒng)：
隔熱屏采用石墨及碳?xì)植牧现谱?，結(jié)構(gòu)型式為圓形隔熱屏，加熱器也采用石墨圓型結(jié)構(gòu)型式，安裝在圓形隔熱屏的圓周上，使其形成一個(gè)整體；加熱器采用銅電極連接石墨發(fā)熱體，易于拆卸和維修。
6、電控系統(tǒng)：
昆侖通泰10寸液晶觸摸屏顯示，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出，可通過(guò)U盤復(fù)制到計(jì)算機(jī)上，曲線實(shí)時(shí)顯示屏;讓程序設(shè)置更快捷,設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)更直觀，設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面，操作方便；針對(duì)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出，可通過(guò)USB接口復(fù)制數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)上長(zhǎng)期保存，可以預(yù)設(shè)多條加熱曲線?？販鼐取?℃。專家模塊和控制算法相結(jié)合，實(shí)現(xiàn)精密控溫，有效抑制溫度過(guò)沖。超溫報(bào)警系統(tǒng)具有切斷主回路、聲光報(bào)警和自動(dòng)恢復(fù)解除功能。
注：可根據(jù)要求定制爐膛尺寸，其他特殊要求訂貨時(shí)請(qǐng)說(shuō)明。
中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所實(shí)驗(yàn)爐-質(zhì)量?jī)?yōu)勢(shì)：
一、爐殼、爐膛
1、雙層優(yōu)質(zhì)碳鋼板、表面防銹耐高溫烤漆處理；
二、電器、控溫
1、電子元件全部德力西、可控硅是日本或德國(guó)原裝；
2、為了安全、高效使用，采用進(jìn)口全銅隔離式變壓器；
3、溫度控制和檢測(cè)全部采用
單鉑銠（S型）≤1500℃；
雙鉑銠（B型）≤1800℃。
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河南 - 鄭州
2025年03月28日 ~ 30日
京公網(wǎng)安備 11010702002294號(hào)
