產(chǎn)品詳情介紹
該PECVD(等離子化學氣相沉積系統(tǒng))系統(tǒng)，有多路質量流量計系統(tǒng)(進口流量計)，真空機組(進口真空泵)，PE射頻電源(進口射頻源)，溫控系統(tǒng)等裝置構成。使用PE源將氣源等離子化，有利于降低工藝溫度，同時擴大工藝的使用條件，滿足更多的工藝實驗要求，如石墨烯、碳納米管等，控制操作系統(tǒng)集成于觸摸屏操作面板上，便于操作與觀察。

技術參數(shù)：
雙溫場滑軌爐

主要特點：
滑軌式快速升溫爐是專為生長石墨烯研制的石墨烯生長專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗，這款設備是根據(jù)開啟式真空管式爐改裝而來的，操作時可將實驗需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。

技術參數(shù)：
額定功率（KW）：4
額定電壓（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz
最高溫度（℃）：1200（1 hour）
持續(xù)工作溫度（℃）：1100
最大升& 降溫速率（℃/S）：≤20
爐管尺寸（mm）：高純石英管Φ50×1900（管徑可選）
加熱區(qū)長度（mm） :230+230
恒溫區(qū)長度（mm）：100+100
控溫方式：模糊PID控制和自整定調節(jié)，智能化30段可編程控制具有超溫和斷偶報警功能
控溫精度（℃）：±1
密封系統(tǒng)：爐管兩端配304不銹鋼水冷密封法蘭（包括精密針閥，指針式真空壓力表，法蘭進氣端配置兩個Φ6mm卡套進氣口。
凈重（Kg）：80

射頻電源500W
信號頻率：13.56 MHz±0.005%
功率輸出范圍：L5W-500W
最大反射功率：200W
射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度：±0.1%
諧波分量：≤-50dbc
供電電壓：單相交流（187V-253V）
頻率：50/60HZ
整機效率：>=70%
功率因素：>=90%
冷卻方式：強制風冷

供氣系統(tǒng)
工作電壓：185~245V 50HZ
最大輸出功率：18W
流量計標準量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮氣標定，量程可選）
工作溫度：5~45℃
工作壓差：0.1~0.5MPa
最大壓力：3MPa
準確度：±1.5% FS
測量范圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）
針閥：316不銹鋼
混氣罐：Φ80×120mm
截止閥：Φ6mm”316不銹鋼針閥
尺寸：600×600×650 mm

低真空機組VAU-02
空氣相對濕度： ≤85%
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
抽氣速率：8m3/h

極限真空：4X10-2Pa
實驗真空度：1.0X10-1Pa
容油量： 1.1L
進氣口口徑：KF25
排氣口口徑：KF25
轉速：1450rpm
噪音：50dB
外型尺寸：600×600×600mm