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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
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華東	上海上海保稅區(qū)江蘇南京無錫徐州常州蘇州南通連云港淮安鹽城揚州鎮(zhèn)江泰州宿遷南京港宜興浙江杭州寧波溫州紹興湖州嘉興金華衢州臺州麗水舟山安徽合肥蕪湖蚌埠淮南馬鞍山淮北銅陵安慶黃山阜陽宿州滁州六安宣城池州亳州福建福州廈門漳州泉州三明莆田南平龍巖寧德江西南昌九江上饒撫州宜春吉安贛州景德鎮(zhèn)萍鄉(xiāng)新余鷹潭山東濟(jì)南青島淄博棗莊東營煙臺濰坊濟(jì)寧泰安威海日照濱州德州聊城臨沂菏澤萊州港龍口港黃島前灣港董家口港日照港青島港威海港煙臺港鄒平萊蕪
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西南	重慶貴州貴陽遵義六盤水安順畢節(jié)銅仁黔東南州黔南州黔西南州四川成都自貢攀枝花瀘州德陽綿陽廣元遂寧內(nèi)江樂山南充眉山宜賓廣安達(dá)州雅安巴中資陽阿壩州甘孜州涼山州西藏拉薩日喀則昌都林芝山南那曲阿里地區(qū)云南昆明曲靖玉溪昭通保山麗江普洱臨滄德宏州怒江州迪慶州大理州楚雄彝族州紅河彝族州文山苗族州西雙版納州
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擴(kuò)散爐/退火爐

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規(guī)格/型號：暫無

品牌：上海光學(xué)精

應(yīng)用領(lǐng)域：冶金

產(chǎn)地：上海 - 上海

廠家/供應(yīng)商：中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所

咨詢電話:：400-9200-165（請說明信息源自“中冶有色技術(shù)網(wǎng)”）

更新時間：2025-01-27

級別：待認(rèn)證

擴(kuò)散爐/退火爐說明介紹

擴(kuò)散爐／退火爐

產(chǎn)品描述：

本設(shè)備主要應(yīng)用于光電子器件、新能源、太陽能電池、集成電路制造及對半導(dǎo)體等材料進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火和沉積等工藝，可用于各種工藝尺寸。該設(shè)備系統(tǒng)具有精確微機(jī)控制系統(tǒng)，氣體控制系統(tǒng)、具有多種故障報警及安全互鎖功能。

結(jié)構(gòu)介紹：

臥式擴(kuò)散爐是石英舟平行于水平面，一臺可以單管或多管的工藝爐管，平均爐管的占地面積更小，片間的工藝參數(shù)較立式擴(kuò)散爐更好,更加有利于機(jī)械手傳送光學(xué)襯底片，片內(nèi)工藝參數(shù)一致性較好。

擴(kuò)散爐由控制系統(tǒng)、進(jìn)出舟系統(tǒng)、爐體加熱系統(tǒng)和氣體控制系統(tǒng)等組成：

控制系統(tǒng)：采用觸摸一體機(jī)，傳感器萬能輸入，控制精度為0.1級。本控制系統(tǒng)采用高精度溫度控制專用模塊進(jìn)行溫度控制。主控單元(PLC)通過RS485通訊口與儀表通訊，可通過工藝編程實現(xiàn)全自動執(zhí)行升、恒、降溫度曲線(工藝設(shè)定和監(jiān)控在工控機(jī)上）。溫控模塊使用自整定的PID進(jìn)行溫度的

精確控制：

進(jìn)出舟系統(tǒng)：手動進(jìn)出料或自動進(jìn)出料(有手動石英拉鉤和懸臂槳兩種結(jié)構(gòu)）；

加熱系統(tǒng)：爐體由進(jìn)口KANTHAL（康泰爾）公司生產(chǎn)的高溫爐絲，英國MORGAN（摩根）保溫棉，優(yōu)質(zhì)99瓷絕緣子，管口處采用進(jìn)口陶瓷纖維，不銹鋼304外殼等部分組成，設(shè)備上裝有測溫?zé)犭娕己统瑴責(zé)犭娕迹?

氣路系統(tǒng):氣路系統(tǒng)包括質(zhì)量流量控制器、氣動閥、不銹鋼接頭、過濾器、減壓器、單向網(wǎng)等，管道采用耐蝕不銹鋼管。密封良好。整個管路各個網(wǎng)門之間采用程序互鎖，保證了各個閥門之間的連鎖互動關(guān)系。所有氣路管道及閥門均采用316L不銹鋼管材，軟管路均采用聚四氟乙烯管路連接。可通入保護(hù)性氣體(正壓＜0.04MPa下使用)。

擴(kuò)散爐／退火爐