高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
型號(hào):OTF-1200X-4-RTP-C3HV
產(chǎn)地:廣東
產(chǎn)品介紹
高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、
太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱，最快升溫速度可達(dá) 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。
產(chǎn)品型號(hào)
高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV
安裝條件
本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：不需要
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點(diǎn)
1、雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。
2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫
氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。
3、PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。
4、已通過CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)
1、電源：單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW
2、石英管：外徑?110mm，內(nèi)徑?103mm，長380mm
3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈?10mm，燈長300mm
4、加熱區(qū)：300mm
5、工作溫度：最高溫度1100℃
6、控溫精度：±0.5℃
7、最高升溫速度：RT-800℃時(shí)為50℃/s，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s
8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制
9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水 冷，循環(huán)水流量為0.5m3/hr
10、真空度：10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵）
11、質(zhì)量流量計(jì)：3個(gè)，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS
12、混氣罐：?80mm×120mm
產(chǎn)品規(guī)格
尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm
重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg
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河南 - 鄭州
2025年03月28日 ~ 30日
京公網(wǎng)安備 11010702002294號(hào)
