GSL-1100X-XX-S大口徑管式爐
型號(hào):GSL-1100X-XX-S
產(chǎn)地:廣東
儀器類型: 管式爐
產(chǎn)品介紹
GSL-1100X-XX-S是一款雙溫區(qū)的大口徑管式爐,爐管兩端安裝有鉸鏈?zhǔn)讲讳P鋼密封法蘭。此款管式爐可廣泛地應(yīng)用于在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下對(duì)材料進(jìn)行燒結(jié)或退火等熱處理。溫控方面,設(shè)備可達(dá)到最高溫度為1100℃,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃。
產(chǎn)品型號(hào)
GSL-1100X-6-S2
GSL-1100X-8.5-S2
GSL-1100X-11-S2
主要特點(diǎn)
爐體結(jié)構(gòu)
設(shè)備中配有2個(gè)
氧化鋁管堵,設(shè)備使用時(shí)必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性)
高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命)
該爐可作為退火或擴(kuò)散爐,最大可用于8”晶片放在對(duì)應(yīng)石英舟中
密封法蘭
采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr(參考值)
可選購(gòu)一套溫度測(cè)試裝置(鎧裝熱偶、補(bǔ)償導(dǎo)線和溫度儀表),用于測(cè)試爐管內(nèi)部的溫度
左側(cè)水冷法蘭:真空壓力表、不銹鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭
右側(cè)水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40適用的波紋管、泵和kf40擋板閥。(如果您的泵是kf25接口,需要一個(gè)kf40-kf25轉(zhuǎn)接頭)
溫控系統(tǒng)
包含一款YD518P型溫度控制器
PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)
智能化30段可編程控制
控溫精度:±1℃
兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
通過(guò)MET認(rèn)證
質(zhì)量認(rèn)證
所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
質(zhì)保期
一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
技術(shù)參數(shù)
高純石英管尺寸
規(guī)格1:
152 OD x 143 ID x 1320mm L
規(guī)格2:
152 OD x 143 ID x 1020mm L
規(guī)格1:
216 OD x 206 ID x 1320mm L
規(guī)格2:
216 OD x 206 ID x 1020mm L
規(guī)格1:
279 OD x 269 ID x 1320mm L
規(guī)格2:
279 OD x 269 ID x 1020mm L
熱偶:K型熱偶
建議升溫速率:≤10℃/min
溫度:1000℃ (1100℃<1h)
電源:AC220,50Hz 最大8KW
加熱區(qū) 規(guī)格1:加熱區(qū)長(zhǎng)度:600mm 雙溫區(qū):300mm+300mm;
規(guī)格2:加熱區(qū)長(zhǎng)度:900mm 雙溫區(qū):450mm+450mm
加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長(zhǎng)使用壽命)
產(chǎn)品規(guī)格
規(guī)格1:1880 L x 700W x 930 H mm;規(guī)格2:2180 L x 700W x 930 H mm;約200 kg
可選配件
石英舟
最大可兼容4”直徑基片
最大可兼容6”直徑基片
最大可兼容8”直徑基片
溫控系統(tǒng):可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
溫度校準(zhǔn)
定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn),可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購(gòu)一個(gè)簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具包,輔助您完成這項(xiàng)工作,完整的校準(zhǔn)套件包括
48”L(1/4”O(jiān)D)K型熱電偶校準(zhǔn)
一Omega溫度校準(zhǔn)器
熱電偶補(bǔ)償線
您可以考慮分子泵,真空度可達(dá)10-5Torr
真空系統(tǒng)
多種真空系統(tǒng)可選
可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免
真空泵造成污染
使用注意事項(xiàng)
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)