氮化鋁陶瓷氫氣還原燒結設備(2000℃)
上海鉅晶推出的氮化鋁陶瓷氫氣還原燒結設備(型號:SWSL-2000 Ф450*400mm)是一款高溫燒結爐,最高工作溫度可達2000℃,專為氮化鋁等陶瓷材料設計,適用于半導體、
氧化鋁蝕刻機等行業(yè)。該設備支持在真空或氣氛環(huán)境下高溫燒結,并可通入純氫氣或氮氫混合氣體,確保氫氣尾氣燃燒和實時監(jiān)測,以實現(xiàn)安全可靠的工藝過程。設備具備高自動化程度,配備安全聯(lián)鎖保護功能,以及超溫斷電、停水斷電等多重安全保護措施。此外,該設備結構合理、性能穩(wěn)定,采用模塊化設計,便于維護和更換,旨在提高生產效率并降低能耗,同時可以根據(jù)客戶需求進行定制化生產。
關 鍵 詞:氮化鋁,半導體,氧化鋁,蝕刻機,濕氫,氫氣還原,高溫燒結,真空爐,氫氣爐
型號:SWSL-2000 Ф450*400mm(2309951)
品牌:上海鉅晶
發(fā)貨周期:1-4個月
接受訂制:可按要求定制
一、應用行業(yè)工藝信息
1、主要信息:
二、設備主要用途及優(yōu)點
1、主要用途:主要用于氮化鋁高溫燒結,通純氫氣或者氮氫混合主要優(yōu)點或特點:
①、工藝滿足性:根據(jù)客戶工藝要求,真空或者氣氛下高溫燒結,可通純氫氣,氫氣尾氣燃燒、氫氣實時監(jiān)測,安全可靠,既能滿足客戶工藝需求又能節(jié)儉成本和使用空間。
②、設備安全性:
A、設備安全:設有系統(tǒng)監(jiān)控畫面、故障處理畫面及幫助界面等,系統(tǒng)在運行中的各種數(shù)據(jù)能夠隨時査看、記錄并打印。面板上的紅色閃光指示燈用來顯示各種報警功能,操作者根據(jù)提示可以立刻判斷出報警的位置并處理。
B、監(jiān)測安全:配有安全聯(lián)鎖保護功能,具有超溫斷電或保持,停水斷電(延時停止加熱、
真空泵等),充氣的壓力保護及真空壓力保護等。
C、第三方檢測:可根據(jù)客戶要求提供儀表、熱偶、電氣部件等質量保證文件,第三方計量鑒定等
③、自動化程度:設備自動化程度高,一人即可完成生產作業(yè),可根據(jù)工藝設定程序自運行和安全互鎖等功能;
④、質量等級:按優(yōu)質設備配置,外形美觀,結構合理,性能穩(wěn)定可靠,使用壽命長,維護保養(yǎng)方便,相關電氣配件采用進口或國內一線品牌;
⑤、穩(wěn)定性和維護:設備的加熱、真空、氣路,控制系統(tǒng)等是模塊化集成設計,便于維護和更換。
⑥、節(jié)能降耗生產效率:結構合理性能穩(wěn)定。