近期，由南方科技大學(xué)李攜曦助理教授領(lǐng)銜的科研團(tuán)隊(duì)，攜手北京大學(xué)東莞光電研究院的王琦研究員、香港大學(xué)的林原教授及褚智勤副教授等國內(nèi)外知名學(xué)者，在金剛石薄膜材料的制備與應(yīng)用領(lǐng)域取得了重大突破。該研究團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出一種創(chuàng)新方法，能夠高效、穩(wěn)定地制備出大尺寸(直徑達(dá)2英寸晶圓級)、超薄(亞微米級厚度)、超平整(表面粗糙度低于納米級別)且具備超柔性(可輕松實(shí)現(xiàn)360°彎曲)的金剛石薄膜，相關(guān)研究成果已在國際頂級期刊《Nature》上發(fā)表，題為“大尺寸超平整與超柔性金剛石薄膜的可擴(kuò)展制備”。

金剛石，以其卓越的物理和化學(xué)性質(zhì)，在電子、光子等多個領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用潛力。然而，長期以來，超薄金剛石薄膜的大規(guī)模生產(chǎn)一直面臨諸多技術(shù)難題，限制了其廣泛應(yīng)用。本研究團(tuán)隊(duì)通過創(chuàng)新的剝離技術(shù)，利用膠帶在特定角度和膜厚度條件下進(jìn)行高效剝離，成功突破了這一技術(shù)瓶頸。所制備的金剛石薄膜不僅具有超平整的表面，便于后續(xù)的微納尺度加工，更因其超柔性特性，為彈性應(yīng)變工程和變形傳感等應(yīng)用提供了全新的可能，這是傳統(tǒng)金剛石薄膜所無法比擬的。

研究團(tuán)隊(duì)還通過系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)和理論研究，深入探討了剝離角度、膜厚度等參數(shù)對薄膜品質(zhì)的影響，并成功在優(yōu)化的操作參數(shù)范圍內(nèi)，穩(wěn)定制備出大面積且完好的金剛石薄膜。這一技術(shù)創(chuàng)新不僅為金剛石薄膜的大規(guī)模生產(chǎn)提供了切實(shí)可行的路徑，更有望推動金剛石材料在電子學(xué)、光子學(xué)等領(lǐng)域的商業(yè)化進(jìn)程，為相關(guān)產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展注入新的活力。